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凍干機的真空泵大都使用兩種泵，一種是油封式旋轉真空泵，一種是羅茨泵，又叫機械增壓泵。
有些凍干機使用一臺雙級旋片式真空泵，即能達到真空度的要求，有些凍干機使用一臺單級油封泵加羅茨泵聯(lián)合工作。兩種方式使用效果基本相同。
油封式真空泵應是高速直聯(lián)的泵，它體積小，抽速大，而不應是皮帶傳動的真空泵，羅茨泵亦應是直聯(lián)式的。而不應是皮帶傳動的，最好是液力傳動式的，這種羅茨泵可在大氣壓下與油封式真空泵同時啟動。有些凍干機要求使用無油真空泵。循環(huán)泵應該是屏蔽式的，因為它不會發(fā)生漏油現(xiàn)象，直聯(lián)有油封，會發(fā)生漏油。
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